提供接觸角測量儀、大氣等離子清洗機、真空等離子清洗機、寬幅等離子清洗機、微波等離子清洗機、USC干式超聲波除塵清洗機、離子靜電消除裝置等一站式服務設備
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全自動雙腔設計，可兼容6-8英寸WAFER
可測單晶片樣品的最大尺寸為12英寸
溫度可達1250℃，可測單晶片樣品最大尺寸為6英寸
