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除了以上沉積與鍍膜問題，在清洗上，晶圓表面的潤濕性對晶圓也會有一定的影響，親水性表面可以讓晶圓與清洗液更好地進行接觸，達到更理想有效的清洗效果；反之，疏水性表面與清洗液接觸則會形成水珠狀液滴，造成清洗效果不佳，會對后續的工藝造成不良影響，導致損失。因此，表面接觸角的測量成為了晶圓制造過程中不可或缺的步驟。
接觸角測量儀，主要用于測量液體對固體的接觸角，即液體對固體的浸潤性，通過光學投影的原理，對氣、液、固三相界面輪廓進行保真采集精密分析。
等離子清洗機有效清除上游工序殘留表面污垢顆粒；清洗柔性OLED與CG表面有機物，改善水滴角，降低GDS發生，減少異物使產品的信賴性能更優；
真空等離子體表面處理的特點及應用行業
SPK-800S寬幅射頻等離子清洗機，專注PLASMA清潔
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