SPR-08是一款基于電感耦合等離子體技術(shù)的自成一體的原子發(fā)生器，它的功能是用于半導(dǎo)體設(shè)備工藝腔體原子級(jí)別的清潔，使用工藝氣體三氟化氮（NF3）/O2，在交變電場(chǎng)和磁場(chǎng)作用下，原材料氣體會(huì)被解離，從而釋放出自由基，活性離子進(jìn)入工藝室與工藝室上沉積的污染材料（SIO/SIN）或者殘余氣體（H2O、O2、H2、N2）等物質(zhì)產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，聚合為高活性氣態(tài)分子經(jīng)過(guò)真空泵組抽出處理腔室，提高處理腔室內(nèi)部潔凈度。

針對(duì)汽車(chē)內(nèi)飾件制程中植絨、包覆工藝前，通過(guò)晟鼎真空等離子進(jìn)行表面處理，可有效提升PP等材料的表面活性，使其更易與包覆材料結(jié)合，從而提高包覆的牢固度和耐久性。

在線片式真空等離子清洗機(jī)主要用于半導(dǎo)體行業(yè)引線框架表面清洗產(chǎn)品表面污染物，提高表面活性，增強(qiáng)附著性能。

自由基分子的等離子體無(wú)偏壓，不會(huì)對(duì)產(chǎn)品有電性損壞，去膠速率快

半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用RF在線片式真空清洗機(jī)，PLASMA處理在線片式等離子處理系統(tǒng)

專(zhuān)為面積較大、形狀復(fù)雜的材料進(jìn)行表面改性處理，是實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕功效的理想選擇