提供大氣等離子清洗機、真空等離子清洗機、寬幅等離子清洗機、微波等離子清洗機、等離子去膠機、接觸角測量儀、USC干式超聲波除塵、遠程等離子源RPS等一站式服務設備
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SPR-08是一款基于電感耦合等離子體技術的自成一體的原子發生器，它的功能是用于半導體設備工藝腔體原子級別的清潔，使用工藝氣體三氟化氮（NF3）/O2，在交變電場和磁場作用下，原材料氣體會被解離，從而釋放出自由基，活性離子進入工藝室與工藝室上沉積的污染材料（SIO/SIN）或者殘余氣體（H2O、O2、H2、N2）等物質產生化學反應，聚合為高活性氣態分子經過真空泵組抽出處理腔室，提高處理腔室內部潔凈度。
針對汽車內飾件制程中植絨、包覆工藝前，通過晟鼎真空等離子進行表面處理，可有效提升PP等材料的表面活性，使其更易與包覆材料結合，從而提高包覆的牢固度和耐久性。
在線片式真空等離子清洗機主要用于半導體行業引線框架表面清洗產品表面污染物，提高表面活性，增強附著性能。
除塵頭兩側兩個吸氣口和中間一個吹氣口，中間吹氣口吹氣產生超聲波，使灰塵脫離產品表面，吸氣口把灰塵吸走，完成除塵
可做到聚合物去除、氧化硅或碳化硅刻蝕、刻蝕后表面清潔
可有效去除表面殘留物、介質與介質間光阻去除
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