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SPR-08是一款基于電感耦合等離子體技術(shù)的自成一體的原子發(fā)生器，它的功能是用于半導(dǎo)體設(shè)備工藝腔體原子級(jí)別的清潔，使用工藝氣體三氟化氮（NF3）/O2，在交變電場(chǎng)和磁場(chǎng)作用下，原材料氣體會(huì)被解離，從而釋放出自由基，活性離子進(jìn)入工藝室與工藝室上沉積的污染材料（SIO/SIN）或者殘余氣體（H2O、O2、H2、N2）等物質(zhì)產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，聚合為高活性氣態(tài)分子經(jīng)過真空泵組抽出處理腔室，提高處理腔室內(nèi)部潔凈度。
針對(duì)汽車內(nèi)飾件制程中植絨、包覆工藝前，通過晟鼎真空等離子進(jìn)行表面處理，可有效提升PP等材料的表面活性，使其更易與包覆材料結(jié)合，從而提高包覆的牢固度和耐久性。
在線片式真空等離子清洗機(jī)主要用于半導(dǎo)體行業(yè)引線框架表面清洗產(chǎn)品表面污染物，提高表面活性，增強(qiáng)附著性能。
除塵頭兩側(cè)兩個(gè)吸氣口和中間一個(gè)吹氣口，中間吹氣口吹氣產(chǎn)生超聲波，使灰塵脫離產(chǎn)品表面，吸氣口把灰塵吸走，完成除塵
可做到聚合物去除、氧化硅或碳化硅刻蝕、刻蝕后表面清潔
可有效去除表面殘留物、介質(zhì)與介質(zhì)間光阻去除
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