微波等離子清洗機在半導體封裝工藝中的應用

在半導體封裝工藝中，由于產品的精密性的特殊要求，對等離子清洗設備的性能提出了更高的要求，晟鼎精密的微波等離子清洗機主要針對半導體封裝工藝研發，下面我們來看看微波等離子清洗機在半導體封裝工藝中的應用。

√ 設備夾具靈活多變，可適應不規則的產品需求

• √ 無電極微波設計，可滿足軟性產品處理需求

  √ 電中性等離子體，對產品無電性破壞

  √ 配置磁流體旋轉架，增加PLASMA處理均勻度

  
  

晟鼎微波等離子清洗機在芯片封裝工藝段的應用范圍：

芯片粘接前的表面清洗：

提升芯片與基板的潤濕性、去除氧化膜，從而提升粘接效果，改善產品品質；

共晶焊前表面清洗：

清除基板上的雜質和焊料上的氧化膜，從而減少共晶空洞的產生，提升共晶的可靠性和良品率；

引線鍵合前處理：

可有效清除鍵合區光刻膠，引線框架氧化膜、制程中的有機污染物等，從而達到提高鍵合強度，減少鍵合分離的目的；

芯片塑封前表面處理：

提高材料表面的潤濕性，減少封裝空隙，增強其電氣性能。

總之，在半導體芯片封裝工藝段中，芯片粘接/共晶→引線焊接→封裝→Mark等環節，均推薦使用晟鼎微波PLASMA清洗機，無損精密器件、不影響上道工藝性能，助力芯片封裝質量有效提升。

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