7月28日，2022“創客廣東”東莞市中小企業創新創業大賽決賽，在松山湖光大We谷落下帷幕。

本屆大賽以“創客廣東 匠心莞品”為主題，是由廣東省工業和信息化廳、廣東省財政廳共同著力打造的“雙創”品牌大賽。

本屆大賽共352個項目報名，晟鼎精密攜“新一代微波等離子半導體去膠解決方案--國內首家自由微波發生器技術”項目，從352個項目中突出重圍進入決賽，并斬獲2022“創客廣東”東莞市中小企業創新創業大賽企業組優勝獎。

晟鼎精密的“新一代微波等離子半導體去膠解決方案--國內首家自由微波發生器技術”項目，主要是應用于半導體中的IC制程及封測環節的等離子除膠、刻蝕設備。

該設備采用晟鼎自主研發微波等離子發生器，搭配射頻偏壓技術，無放電電極，高效均勻，可徹底清除芯片表面的殘留物，保證刻蝕效率，從而顯著改善芯片的可制造性、可靠性以及良品率。

目前微波等離子清洗技術的優勢，已經被各行各業高度重視，并得到了廣泛的認可。晟鼎的微波等離子系列產品，完全符合行業標準，我們可快速響應客戶需求，全面滿足不同工藝需要，并且價格僅是進口品牌的三分之二。

晟鼎“新一代微波等離子半導體去膠解決方案--國內首家自由微波發生器技術”項目，在技術實力、競爭模式等方面，均獲得現場評委的一致認可，榮獲企業組優勝獎。

晟鼎經過多年持續的研發投入和技術積累，先后研發出微波等離子清洗機、在線片式微波等離子清洗機、離線式微波plasma去膠機等設備，可用于半導體行業的封裝段工藝，以及用于晶圓制造工藝段中等離子活化、除膠、刻蝕。